특수가스

특수가스 (SPECIAL GAS)

석유화학, 반도체산업, 금속공업 등의 실험 및 연구용으로 사용되는 특수가스는 완벽한 용기내면처리, 세척정제 및 정밀분석으로 제조되고 있습니다. 

초고순도 순수가스

  • 1제품설명
    반도체 산업, 석유 화학, 금속공업 등의 실험, 연구 및생산용으로 사용되는 순수가스는 용기내면처리, 세척정제설비 및 정밀 분석으로 제조되고 있습니다.
  • 2용도
    각종 분석기, 반도체산업, 금속의 분광분석기, 전구봉입용, 석유화학.
  • 3종류
     O2 : 99.995%
     H2 : 99.9999%
     N2 : 99.9999%
     He : 99.9999%
     Ar : 99.9999%
     CO2 : 99.999%

반도체용 특수가스

  • 1제품설명
    반도체 제조 및 연구용으로 사용되는 특수가스는 종류가 다양하고 독성이며 초고순도가 요구됩니다.
  • 2용도
    반도체 제조, 반도체 제조연구.
  • 3종류
    SiH4, Si2H6, AsH3, B2H6, BCI3, BF3, PH3, WF6, N2O, NH3, SiCl4, NF3

표준가스

  • 1제품설명
    각종 분석기의 보정, 공정관리 및 품질관리용으로 사용되는 표준가스는 미량성분의 혼합과 분석의 정밀도가 가장 중요합니다.
  • 2용도
    각종 분석기용 표준가스, 대기오염측정, 자동차배기가스 측정, 연소실험, 석유화학제조공정감시용분석기.
  • 3종류
    CO-CO2-N2, CO-O2-N2, C3H8-N2, He-H2, C3H8-N2-O2, H2-N2, H2-Ar, C2H4-N2, H2S-N2, CH4-Ar, Others